近年来,随着我国经济发展进入新常态,集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆、新能源汽车、航空航天、环保、医疗等产业对中国经济增长的贡献率将愈加突出。特种气体作为上述产业发展不可或缺的关键性材料,其市场规模将保持持续高速发展。由于早期技术、工艺、设备等多方面差距明显,发展初期特种气体产品基本依赖进口。但随着技术的逐步突破,以华特股份为代表的国内气体公司通过多年持续的研发和投入,已陆续实现IC用高纯二氧化碳、高纯六氟乙烷、光刻气等多个产品的进口替代。
据了解,广东华特气体股份有限公司(以下简称华特股份)成立于1999年,公司设立之初,主要面对普通工业气体零售市场进行销售,定位成为提供优质服务的气体公司,经过近二十年的持续研发,华特股份已掌握特种气体从生产制备、存储、检测到应用服务全流程涉及到的关键性技术,包括气体合成、纯化、混配(如为混合气)、气瓶处理、分析检测以及供气系统的设计/安装。其中,气体纯化、混配、气瓶处理和分析检测技术已经成为华特股份的核心技术,在业内处于领先地位。
由于特种气体超纯、超净的特点,气体的纯化成为特种气体生产中最关键的环节。经过长期的研发积累,在特种气体纯化,尤其在极大规模集成电路、新型显示面板等尖端应用领域,华特股份已成为国内纯化技术最先进的企业之一,是国内首家打破高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯一氧化氮等产品国外垄断的公司。
特种气体的混配是华特股份另一项核心技术,通过对源头的技术创新,目前华特股份能针对不同需求,配制出多种组分、浓度、精度不同的混合气产品,技术水平已达到国际先进水平。华特股份研发生产的Ar/F/Ne混合气、Kr/Ne混合气、Ar/Ne混合气和Kr/F/Ne混合气等光刻气是我国唯一通过全球最大的光刻机生产商ASML公司认证的气体公司,亦是全球仅有的有4种产品全部通过其认证的四家气体公司之一。